ASML заявила об отсутствии EUV-машин для чипов в Китае
ASML заявила, что контролирует местонахождение каждой отправленной литографической системы и не фиксирует присутствия своих EUV-машин в Китае. Гендиректор компании Кристоф Фуке сказал, что такие установки либо работают у клиентов, либо разобраны и возвращены производителю. Поводом для заявления стали опасения американских властей, что одна из самых современных систем могла попасть в Китай в обход экспортных ограничений.
Фуке отдельно подчеркнул, что ASML никогда не поставляла EUV-оборудование в Китай. По его словам, на раннем этапе санкционных ограничений компания разделила доступ к технологии, документации и обучению, а китайское подразделение оказалось вне этого контура. Сотрудников, обученных работе с EUV в Китае, у ASML нет, поскольку сама технология туда не экспортировалась.
Заявление важно для ASML не только политически. EUV-системы остаются самым дефицитным и дорогим оборудованием в цепочке выпуска самых современных чипов. По оценкам отрасли, одна такая машина может стоить более 150 млн евро, а новые поколения High-NA EUV приближаются к 350 млн евро за систему. Потерять из виду такой актив было бы сложно даже без геополитики.
Глава компании также напомнил, что создать EUV-литографию удалось за счет накопленных отраслью технологий, а на решение главной задачи, генерацию самого EUV-излучения, ушло около 20 лет. Это объясняет, почему разговоры о быстром копировании платформы звучат громко, а происходят медленно. В таких системах ценность состоит не в одном узле, а в длинной цепочке оптики, источника излучения, программного обеспечения и сервисной поддержки.
Ограничения на EUV в Китае
ASML много лет остается фактическим монополистом в сегменте EUV-литографии. Именно это оборудование используют TSMC, Samsung и Intel для производства наиболее современных чипов. Без EUV можно выпускать полупроводники и дальше, но переход к более сложным техпроцессам становится сложнее, дороже и медленнее.
Поставки EUV-машин в Китай были заблокированы еще во время первой администрации Дональда Трампа. Позднее ограничения расширились и на часть DUV-систем, которые применяются на менее продвинутых техпроцессах, но тоже важны для массового выпуска микросхем. Нидерланды в 2023 году ужесточили экспортный контроль, а США последовательно добивались более плотной координации с союзниками по оборудованию и материалам для полупроводников.
На этом фоне любое предположение о попадании EUV-установки в Китай становится политической темой. Министр торговли США Говард Лютник, по данным отраслевых публикаций, обсуждал с руководством ASML риск того, что одна из самых современных машин могла уйти не по назначению. Ответ компании теперь сформулирован предельно прямо: в Китае таких систем нет, а маршруты всех отправленных машин отслеживаются.
Для Китая вопрос не академический. Страна активно наращивает собственное производство чипов и импортозамещение оборудования, однако самая сложная литография остается самым трудным участком. Китайские производители добились прогресса в ряде сегментов, включая травление, осаждение и упаковку, но полного аналога EUV-комплекса на рынке у них нет. Это одна из причин, почему китайские фабрики продолжают делать ставку на зрелые техпроцессы и оптимизацию того, что доступно без EUV.
Для самой ASML Китай остается крупным рынком даже без EUV. В отдельные кварталы 2023 и 2024 годов доля Китая в заказах компании резко росла за счет спроса на разрешенные DUV-системы и сервис. Поэтому компании приходится одновременно защищать технологию, соблюдать экспортные правила и не терять бизнес на одном из крупнейших полупроводниковых рынков мира.
Следующая проверка этих заявлений пройдет не в публичной плоскости, а в отчетности и экспортном контроле. Если ограничения США и Нидерландов сохранятся в нынешнем виде, ASML и дальше будет поставлять в Китай только разрешенные категории оборудования, а самые современные EUV-системы останутся у нескольких крупных фабрик за пределами страны. На мировом рынке полупроводникового оборудования объемом более 100 млрд долларов в год этот сегмент по-прежнему определяет, кто может выпускать самые сложные чипы, а кто ограничен зрелыми линиями.
