Китай запустил серийные литографы и целится в поставки SMIC, Hua Hong и CXMT

Китай начал серийно выпускать собственные иммерсионные DUV-литографы. Первая партия, по данным The Information, уже может уйти крупным местным производителям микросхем: в 2026 году такие установки ждут SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies. К 2027-му выпуск хотят поднять примерно до 20 машин в год.

Это оборудование стоит в самом центре массового производства чипов. И именно здесь китайская отрасль долго сидела на импорте. Рынок в этом сегменте почти целиком держит ASML из Нидерландов, так что любое новое ограничение на поставки в Китай сразу бьет не только по планам расширения, но и по обслуживанию уже работающих линий.

По сообщениям источников, опытный образец нового литографа тестируют на площадке SMIC с сентября 2025 года. Делали его не в одиночку: среди участников называют государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology, а большую часть компонентов собирают внутри Китая. Но без импортных деталей пока не обходится — некоторые критически важные узлы по-прежнему закупают в Японии, и именно они сейчас тормозят выход на серию.

Иммерсионные DUV-литографы для китайских фабрик

Иммерсионные DUV-системы — рабочая лошадка отрасли. На них делают чипы примерно по 28 нм за один проход, а при многократной экспозиции добираются до уровня около 7 нм. Это, конечно, не замена самым продвинутым EUV-машинам, но для массы коммерческих процессоров, памяти и специализированных решений такого класса оборудования хватает с запасом.

Спрос на собственные установки в Китае растет не только из-за санкций. Рынок там огромный: по данным исследовательских компаний, страна остается крупнейшим потребителем литографического оборудования в мире. И если хотя бы часть цепочки удастся собрать внутри страны, это уже уменьшит зависимость от сбоев импорта и политических ограничений.

MATCH Act и новая фаза давления на ASML

Развертывание собственного производства литографов в Китае идет на фоне обсуждения в США законопроекта MATCH Act. Если его примут, ASML могут запретить не только продавать новые иммерсионные DUV-системы китайским компаниям, но и обслуживать уже поставленное оборудование.

Под ограничения, как пишут источники, могут попасть те же SMIC, Hua Hong и CXMT. Для Китая это знакомая история: чем уже становится окно на импорт, тем быстрее местные компании переходят к тому, что можно сделать внутри страны. В этой ситуации главный вопрос не в самом запуске серии, а в том, хватит ли китайской промышленности компонентов, чтобы дойти до заявленных объемов к 2027 году.