Российский литограф обещает сократить выпуск чипов с недель до минут
Автор: Российская команда под руководством Евгения Гиваргизова при поддержке Национальной технологической инициативы подготовила проект электронного литографа, который должен ускорить обработку кремниевых пластин. По замыслу разработчиков, вместо полутора-двух недель на это уйдёт пять—семь минут.
Разницу в скорости должен дать многолучевой принцип работы. Установка будет обрабатывать пластину сразу множеством электронных лучей, а не одним, и за счёт этого, как утверждается, сможет работать примерно в 3000 раз быстрее обычных систем.
Мультикатод в электронном литографе
В основе проекта лежит мультикатод, то есть массив независимых источников электронов на общей подложке. В зарубежных системах один луч обычно делят на несколько с помощью сложной оптики с зеркалами и затворами, а российская схема должна обойтись без такой конструкции.
Авторы разработки считают, что это сделает оборудование дешевле, экономичнее и менее требовательным к инфраструктуре. Саму технологию мультикатода уже создали и испытали, но сам литограф существует только как проект.
Первый опытный образец планируют собрать примерно через три года. Инженерам уже удалось получить источники пучков с радиусом вершины 1,5—2 нм, и разработчики называют это одним из лучших мировых результатов.
Установку рассчитывают применять для выпуска микросхем по нормам от 350 до нескольких нанометров. Итоговое разрешение будет зависеть и от фоторезистов, а при успешной реализации проект должен помочь с производством чипов и уменьшить зависимость от зарубежного оборудования.
Источник: www1.ru
