В России создадут первый промышленный CD-SEM для чипов за 2,37 млрд рублей
Автор: Марта Баринова Зеленоградский нанотехнологический центр разработает первый в России промышленный сканирующий электронный микроскоп класса CD-SEM для контроля производства микросхем. На проект выделили 2,37 млрд рублей, работы должны завершиться к 30 июня 2030 года.
Сообщает iXBT, контракт Минпромторга с ЗНТЦ заключён в рамках опытно-конструкторской работы «Инспектор». Опытный образец собираются адаптировать под 200-миллиметровые пластины, а комплекс рассчитан на контроль пластин диаметром 100, 150 и 200 мм.
Установка нужна для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин. Она должна измерять ширину проводников, размеры контактных отверстий, расстояние между элементами схемы и шероховатость краёв линий. Эти параметры влияют на качество, стабильность и выход годной продукции при выпуске микросхем.
Что известно о CD-SEM для чипов и сроках
В техническом задании почти все основные узлы комплекса отнесены к российской разработке. Речь идёт об электронной пушке, электронно-оптической колонне, рабочей камере, вакуумной системе, механизме загрузки пластин, центральном контроллере и программном обеспечении. Зарубежные компоненты допустимы только в исключительных случаях и после согласования с заказчиком.
В контракте также прописаны требования к надёжности и ресурсу. Средняя наработка на отказ должна быть не меньше 1000 часов, а расчётный срок службы оборудования составит не менее десяти лет.
Проект должен заменить японские микроскопы Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию прекратились после санкций. По данным CNews, отечественных промышленных аналогов такого класса оборудования сейчас нет.
У ЗНТЦ уже есть опыт работы с таким оборудованием. Ранее центр представил отечественный литограф с разрешением 350 нм и создал установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм. Сейчас два опытных образца этой системы проходят испытания.
