НИИТМ поставил установку эпитаксии «Эписэнд ТМ» для производства чипов
Автор: НИИТМ из ГК «Элемент» изготовил и передал заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника «Эписэнд ТМ». Она рассчитана на выпуск полупроводниковых структур для чипов и силовой электроники. Для российской микроэлектроники это ещё один шаг к тому, чтобы закрывать такие линии своими машинами, а не импортом.
Установка выращивает эпитаксиальные структуры и наносит сверхтолстые слои поликристаллического кремния методом «сэндвич»-эпитаксии. По данным компании, одновременно можно обрабатывать четыре пластины диаметром 100 мм, а индукционный ВЧ-нагрев в системе разгоняется до 1300 градусов Цельсия.
В НИИТМ отдельно говорят о двухпозиционной схеме загрузки. Она рассчитана на две лодочки с графитовыми платформами. И вот тут важна не только сама конструкция. Эпитаксиальное оборудование выпускают считаные страны, а после санкций такие поставки в России стали и сложнее, и дороже.
Что умеет «Эписэнд ТМ»
Эпитаксия нужна для выращивания тонких кристаллических слоёв с заданными свойствами. Без такого оборудования не обходятся линии, где делают силовые полупроводники, датчики и часть компонентов для электроники.
У новой установки НИИТМ главный козырь — производительность. Несколько пластин обрабатываются одновременно, поэтому цикл получается короче. А высокая температура процесса расширяет набор материалов и режимов, с которыми можно работать.
- Индукционный ВЧ-нагрев до 1300 °C
- Одновременная обработка до 4 пластин
- Диаметр пластин: 100 мм
- Двухпозиционная система загрузки
Импортозамещение оборудования для чипов в России
Разработка входит в программу «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». У отрасли там задача вполне приземлённая: убрать дефицит оборудования, которое раньше почти целиком везли из-за рубежа.
В ГК «Элемент» рассчитывают заменить собственными разработками до 70% критически важного оборудования, где на мировом рынке остаются один-два поставщика из недружественных стран. Процесс не быстрый. Минпромторг ранее выделял почти 2 млрд рублей на замену американского и европейского оборудования для чипов, а сама линия импортозамещения в отрасли идёт уже несколько лет.
На этом фоне «Эписэнд ТМ» выглядит не отдельной машиной, а одним из звеньев цепочки. Чем больше таких установок дойдёт до серийных поставок, тем меньше у российских фабрик будет зависимость от внешних закупок и тем проще станет собирать полный технологический цикл внутри страны.
