Первый серийный российский литограф для выпуска чипов по нормам 350 нм планируют передать заказчику в декабре 2026 года. Установку получит компания «Маппер», входящая в Ростех через холдинг «Швабе». Следующая машина предназначена для «Отраслевых решений» группы «Элемент».
Литограф разработал Зеленоградский нанотехнологический центр совместно с белорусской компанией «Планар». Разрешение 350 нм используют при производстве силовой и автомобильной электроники, а также компонентов для промышленного оборудования. Первым эксплуатантом станет московская фабрика «Маппер», которая выпускает кремниевые элементы по технологии МЭМС.
Установка получила рабочее поле размером 22 × 22 мм и поддерживает пластины диаметром до 200 мм. Вместо традиционной ртутной лампы в ней используется твердотельный лазер. По данным разработчиков, такой источник излучения должен обеспечить более высокую мощность и энергоэффективность.
Производительность литографа достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час. При работе с 200-миллиметровыми пластинами установка способна обрабатывать до 43 пластин в час. Базовая версия стоит 392 млн рублей без НДС, а комплектация с расширенным сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией оценивается в 561 млн рублей.
Сопоставимые зарубежные установки обходятся на 40—60% дороже. Изготовление одного литографа занимает около 18 месяцев после внесения аванса в размере половины стоимости.
Фабрика «Маппер» располагает 1500 кв. м чистых помещений и может обрабатывать до 5 тысяч пластин в год. Предприятие участвует в проекте по созданию инфракрасных матриц для тепловизоров и беспилотников.
ЗНТЦ также разрабатывает совместно с «Планаром» серийный отечественный литограф с разрешением 130 нм. Опытный образец установки анонсировали в августе 2026 года, а стоимость опытно-конструкторских работ оценивается в 5,7 млрд рублей. Серийные поставки таких машин планируют начать в 2027 году.