
LG запустила коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения. Установка рассчитана на крупные подложки, а ставка тут вполне понятная: быстрые перенастройки, работа с новыми материалами и минимум возни с оснасткой.
Первые машины уже ушли в LG Innotek и зарубежному производителю печатных плат. Для LG это не история про опытный образец из лаборатории. Это серийный продукт, и стоит он около $2 млн за штуку.
Смысл у этой системы простой: рисунок формируется лазером прямо на подложке, без фотошаблонов. На производстве это убирает часть подготовительных операций, ускоряет переход между заказами и помогает, когда нужно быстро собрать небольшую партию — как раз тот случай, который часто встречается в упаковке чипов и современной электронной сборке.
По данным LG, установка работает с элементами от 1,5 до 3 мкм и поддерживает подложки размером до 600 на 600 мм. За точность отвечает фирменная схема RTAC: она в реальном времени подстраивается под деформации материала во время экспонирования.
LG ориентирует систему на производство подложек для современных полупроводников и слоёв перераспределения соединений RDL. В списке сценариев — упаковка микросхем, в том числе FoCoS и CoPoS, где нужны большие форматы и более гибкая геометрия соединений.
Конкуренты на этом поле уже есть. Прямое лазерное экспонирование для плат и подложек давно используют несколько крупных поставщиков оборудования, а сейчас борьба идёт за три вещи: площадь, точность и цену владения. LG заходит в сегмент, который разгоняют chiplet-архитектуры, интерес к стеклянным подложкам и растущий спрос на advanced packaging со стороны производителей памяти, процессоров и сетевых чипов.