Крупнейшие китайские производители памяти, CXMT и YMTC, заранее закупили у нидерландской ASML DUV-литографы в объеме, которого должно хватить примерно на три года расширения производства. Об этом сообщило Financial Times. EUV-оборудование этим компаниям недоступно из-за экспортных ограничений, поэтому они делают ставку на DUV-системы.
DUV-оборудование широко используют на зрелых техпроцессах, но его также можно применять для более сложных чипов, если задействовать многократное экспонирование. CXMT работает с DRAM, а YMTC — с NAND.
Параллельно в Китае пытаются развивать собственную альтернативу ASML. Местный производитель Yuliangsheng рассчитывает выпустить до 12 DUV-сканеров к концу 2026 года. Связанная с ним Shanghai Aishengna Electronic Technology Group ранее говорила о планах собрать пять машин до конца 2026 года и довести выпуск до 20 единиц к концу 2027-го.
Источники связывают две компании между собой, в том числе из-за общего адреса в Шанхае. При этом китайские DUV-литографы пока не пользуются у местных производителей тем же спросом, что и оборудование ASML, поэтому CXMT и YMTC выбрали импортные системы, не дожидаясь запуска отечественных машин.
Разрыв между Китаем и зарубежными компаниями в DUV-сегменте уже сократился, но в EUV он все еще велик. По одной из оценок UBS, китайские разработки в этой области могут отставать от передовых систем ASML примерно на десять лет.
Отсутствие EUV-машин заставляет китайскую полупроводниковую отрасль искать обходные решения. Производители экспериментируют с многократным экспонированием на DUV-оборудовании, трехмерным масштабированием и другими методами, чтобы повышать плотность транзисторов и ячеек без EUV.